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青岛泰斯迈仪器设备有限公司

半导体设备、蒸发台、刻蚀机、溅射台、离子注入机

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溅射台 SME-200
溅射台 SME-200图片
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产 品: 溅射台 SME-200 
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更新日期: 2021-09-28  有效期至:长期有效
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溅射台 SME-200详细说明
  产品简介:
它是一种多室型溅射装置,可以配备多个处理室(*多3个腔室200E,*多5个腔室200J和*多7个腔室200)                                     

产品特性:
 • 可运输Φ200mm板
 • 作为处理室的各种模块的阵容
 • 介电模块
 • 高温成膜模块
 • 精密分配模块
 • 蚀刻模块

产品应用:
 • 电子零件
 • 微机电系统
 • 动力装置
 • 发光二极管
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