产品简介:
它是一种多室型溅射装置,可以配备多个处理室(*多3个腔室200E,*多5个腔室200J和*多7个腔室200)
产品特性:
• 可运输Φ200mm板
• 作为处理室的各种模块的阵容
• 介电模块
• 高温成膜模块
• 精密分配模块
• 蚀刻模块
产品应用:
• 电子零件
• 微机电系统
• 动力装置
• 发光二极管
溅射台 SME-200