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青岛泰斯迈仪器设备有限公司

半导体设备、蒸发台、刻蚀机、溅射台、离子注入机

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离子注入机
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产 品： 离子注入机 
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更新日期： 2021-09-28  有效期至：长期有效
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离子注入机详细说明
 

离子注入装置SOPHI-400可以支持Max2400KeV的高能量离子注入装置。

特长

·单叶式

·支持稀薄Wafer

·平行光束

用途

·功率器件等薄型基板工艺、IGBT工艺

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